发明/设计人：吴龙军;

公开（公告）日：2022-11-15

代理机构：安徽思尔六知识产权代理事务所(普通合伙)

公开（公告）号：CN115132603B

代理人：童慧慧;

主分类号：H01L21/66

地址：221400 江苏省徐州市新沂市锡沂高新区一带一路智慧光电产业园14#标房

分类号：H01L21/66;H01L21/687

优先权：

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法律状态：

2022.11.15#授权   2022.10.25#实质审查的生效   2022.09.30#公开   

摘要：本发明涉及半导体芯片生产领域，具体公开了一种半导体芯片检测装置，包括投影板、调节杆、拖载板、夹持模块与投影组件，投影板上端面中心处设有调节杆，调节杆的上端面安装有拖载板，拖载板的上方设置夹持模块，夹持模块安装在投影板上，夹持模块的上方设有投影组件，本发明通过发光灯筒直接对半导体芯片进行照射，使得半导体芯片的投影直接在投影板上进行显现，能够直观的对芯片的引脚进行观测，相对于检测人员直接使用显微镜对芯片进行观测，能够进一步减少检测人员的眼部疲劳，方便观测人员进行判断，并提高了半导体芯片引脚观测时的准确性，还可以通过休整框对引脚轻微弯曲的芯片的引脚进行修整，减轻了员工们的工作量。

主权项：1.一种半导体芯片检测装置，包括投影板（1）、调节杆（2）、拖载板（3）、夹持模块（4）和投影组件（5），其特征在于：投影板（1）上端面中心处设置有调节杆（2），调节杆（2）的上端面安装有拖载板（3），拖载板（3）的上方设置夹持模块（4），夹持模块（4）安装在投影板（1）上，夹持模块（4）的上方设置有投影组件（5），其中：/n所述调节杆（2）包括连接外壳（21）、螺纹进给杆（22）、滑动滑杆（23）和滑动块（24），投影板（1）的上端面安装有连接外壳（21），连接外壳（21）内侧壁设置有螺纹，连接外壳（21）内侧壁上沿其周向均匀开设有A滑槽（25），连接外壳（21）内部通过上下滑动的方式安装有滑动滑杆（23），滑动滑杆（23）侧壁上沿其周向均匀安装有与A滑槽（25）相互配合使用的滑动块（24），滑动滑杆（23）的上端面和拖载板（3）相连接；/n所述拖载板（3）上端面开设有B沉槽（31），B沉槽（31）的底部左右两端通过内推弹簧（32）连接有内夹条（33），内夹条（33）为橡胶材质构成，拖载板（3）外侧套有修整框（34）；/n所述夹持模块（4）包括伸缩杆（41）、连接块（42）、夹持套板（43）和聚光筒（44），投影板（1）的上端面左右对称安装有伸缩杆（41），伸缩杆（41）的上端面安装有连接块（42），连接块（42）的相近端安装有夹持套板（43），夹持套板（43）中心处开设有C通光孔（46），C通光孔（46）的左右两侧对称开设有滑槽H(47)，滑槽H（47）内部通过前后滑动的方式安装有聚光筒（44）；/n所述投影组件（5）包括支撑杆（51）、放置座（52）和发光灯筒（53），夹持套板（43）的上端面左右对称安装有支撑杆（51），支撑杆（51）的相近端设置有放置座（52），放置座（52）上插接有发光灯筒（53）；/n所述修整框（34）下端面通过滑动连接的方式左右对称设置有拉直块（341），拉直块（341）和修整框（34）之间通过复位弹簧（342）相连接，拉直块（341）靠近滑动滑杆（23）的端面抵靠有挤压块（343），挤压块（343）沿周向均匀安装在转动环（344）的侧壁上，转动环（344）通过转动连接的方式安装在滑动滑杆（23）上；/n所述拉直块（341）包括平滑块（3411）、连接板（3412）、螺纹杆（3413）、螺纹转套（3414）、转动边套（3415）、连接条（3416）和拉直杆（3417），平滑块（3411）通过滑动连接的方式安装在修整框（34）下端面上，平滑块（3411）远离转动环（344）的端面上对称安装有连接板（3412），连接板（3412）的相近端固定安装有螺纹杆（3413），螺纹杆（3413）外侧通过螺纹连接的方式均匀设置有螺纹转套（3414），螺纹转套（3414）上通过转动连接的方式对称设置有转动边套（3415），转动边套（3415）远离转动环（344）的端面上安装有连接条（3416），连接条（3416）远离转动环（344）的端面上共同安装有拉直杆（3417）。/n